UBMS® SERIES FOR DLC
UnBalanced Magnetron Sputtering
Bei der UBMS®-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Unbalanced Magnetron Sputtering-Verfahren anwenden. Da diese Systeme feine Schichten und Schichten mit hoher Dichte erzeugen können, eignen sie sich für Schmierfilmbeschichtungen wie DLC und Molybdändisulfid.
- Die Plasmadichte wird in Substratnähe durch ein unausgeglichenes Magnetfeld erhöht.
- Maximierung des ionenunterstützenden Effekts.
- Kontrolle der Schichteigenschaften: Zusammensetzung, Haftung, Kristallisation, Oberflächenbeschaffenheit.
| Argon-Ionen werden im Plasma aktiviert und treffen auf das Target. | > | Die aktivierten Argon-Ionen sputtern Metallatome aus dem Target. | > | Die gesputterten Metallionen ermöglichen die Filmabscheidung. |
Before
After
DLC-Beschichtungen von KOBELCO sind ausgezeichnet in Verschleißfestigkeit, geringer Reibung und Zähigkeit durch einen Nano-Mehrschichtaufbau.
Ausgewogene DLC-Beschichtung
Aufstellungskriterien der Maschinen:
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| Produktionsumfang | Mittelserienfertigung | Großserienfertigung |
|---|---|---|
| Empfohlener Ladebereich |
φ 450 mm x H 400 mm oder φ 130 mm x H 400 mm x 6 Achsen |
φ 700 mm x H 800 mm oder φ 130 mm x H 800 mm x 12 Achsen |
| UBMS-Quelle | 4 | 7 |
| Substrattisch | Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem | Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem |
Eigenschaften von DLC durch UBMS®
DLC (Diamond-like Carbon) findet aufgrund seiner hohen mechanischen Härte, chemischen Beständigkeit und seines geringen Abriebverhaltens weit verbreitete Anwendung in Automobilteilen, mechanischen Komponenten, Gewindeschneidern, Formen, etc.
KOBELCO kann durch Anpassung der Beschichtungsparameter für jede Kundenanwendung optimiertes DLC anbieten.
Anwendungen von DLC und mehr
- Automobilteile (Motorteile/Kraftstoffpumpenteile)
- Mechanische Teile (Kugellager, Kugelumlaufspindel, Hydraulikpumpenteile)
- Schneidewerkzeuge für Aluminium
- Umformwerkzeuge für Aluminiumdosen
- Schneidwerkzeuge für SUS/Kupferrohr
- Stanzen für SUS-Platten/Aluminiumbleche
und mehr
Fortschrittliches DLC durch UBMS®
- DLC mit hoher Adhäsion
- Ionenunterstützung durch UBM
- Optimierte Zwischenschicht
- Härteregelung und Mehrschicht-DLC
- Ionenunterstützung durch UBM
- Metalldotierter DLC
- Co-Sputter mit Metalltarget und Kohlenstoff
- Wasserstoffgehaltskontrolliertes DLC
- Feste Kohlenstoffquelle
- Hybridbeschichtung mit AIP
und mehr
Wirkung von KOBELCO DLC
BELCOATTM durch UBMS®
| Name | Typ | Härte (Hv) |
Dicke (μm) |
Eigenschaften und typische Anwendungsmöglichkeiten |
|---|---|---|---|---|
| BELCOAT B |
Standard | 1.500 bis 2.500 |
0,5 bis 5 |
Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit, Schmierfähigkeit und Haftung. Verbreitete mechanische Komponenten. |
| BELCOAT HB |
Hoher Härtegrad |
2.500 bis 3.500 |
0,1 bis 0,2 |
Fokus auf Verschleißfestigkeit. Stanzwerkzeuge für KFZ-Komponenten (für Nichteisenmetalle, Edelstahl) |
| BELCOAT UB |
Extremer Härtegrad |
3.500 bis 4.000 |
0,1 bis 0,2 |
Fokus auf Verschleißfestigkeit unter hoher Belastung. KFZ-Komponenten für den Renneinsatz, Schneidwerkzeuge (Nichteisenmetalle). |
| BELCOAT NB |
Nano-Multi- Schicht |
1.500 bis 2.500 |
0,1 bis 0,15 |
Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit und Schmierzähigkeit. Lager und Stanzwerkzeuge. |
| BELCOAT MB |
Metalldotiert | 1.000 bis 2.000 |
0,15 bis 0,25 |
Eigenschaftsänderungen durch Metalldotierung, Entlastung der Beschichtungsspannung. KFZ-Komponenten, Kunststoffspritzgussformen. |
